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蘇州盛光申請(qǐng)生長(zhǎng)石墨烯的方法專(zhuān)利,提高低溫生長(zhǎng)石墨烯的效率

蘇州盛光申請(qǐng)生長(zhǎng)石墨烯的方法專(zhuān)利,提高低溫生長(zhǎng)石墨烯的效率

chenqimei 2025-02-28 微博 7 次瀏覽 0個(gè)評(píng)論

金融界2024年12月20日消息,國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示,蘇州盛光材料有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“種生長(zhǎng)石墨烯的方法”的專(zhuān)利,公開(kāi)號(hào)CN 119143117 A,申請(qǐng)日期為2024年9月。

蘇州盛光申請(qǐng)生長(zhǎng)石墨烯的方法專(zhuān)利,提高低溫生長(zhǎng)石墨烯的效率

專(zhuān)利摘要顯示,本發(fā)明涉及一種生長(zhǎng)石墨烯的方法,包括:通過(guò)引入等離子體氧化氣氛去除銅基底表面雜質(zhì);維持等離子體氧化氣氛,采用化學(xué)氣相沉積法,在所述銅基底表面生長(zhǎng)石墨烯;其中,生長(zhǎng)石墨烯所用碳源為固態(tài)碳源,所述固態(tài)碳源可通過(guò)將芳香族化合物與固體石墨烯混合得到。本發(fā)明使用等離子體可高效去除銅表面雜質(zhì),提高了低溫生長(zhǎng)石墨烯的效率,能促進(jìn)固態(tài)碳源快速裂解,同時(shí)引入石墨烯粉體或石墨烯片作為芳香族化合物的吸附載體,可有效調(diào)節(jié)裂解速度,有助于提高石墨烯質(zhì)量。本發(fā)明用固態(tài)碳源在銅連接器上生長(zhǎng)石墨烯,拓寬了石墨烯生長(zhǎng)基底的選擇范圍,為石墨烯與銅材料結(jié)合的產(chǎn)品開(kāi)辟了更加廣闊的發(fā)展前景。

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